Interfacial fracture for TiN/SiNx nano-multilayer coatings on Si(111) characterized by nanoindentation experiments: Fid-Bau Portal

Interfacial fracture for TiN/SiNx nano-multilayer coatings on Si(111) characterized by nanoindentation experiments

An, T. / Wen, M. / Hu, C. Q. / Tian, H. W. / Zheng, W. T.

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Titel:

Interfacial fracture for TiN/SiNx nano-multilayer coatings on Si(111) characterized by nanoindentation experiments

Beteiligte:

An, T. (Autor:in) / Wen, M. (Autor:in) / Hu, C. Q. (Autor:in) / Tian, H. W. (Autor:in) / Zheng, W. T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING A ; 494 ; 324-328

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0921-5093

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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