Study on SiNx passivated Cu/Ta/SiO2/Si multilayer structure: Fid-Bau Portal

Study on SiNx passivated Cu/Ta/SiO2/Si multilayer structure

Latt, K. M. / Park, H. S. / Seng, H. L. / Osipowicz, T. / Lee, Y. K.

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Titel:

Study on SiNx passivated Cu/Ta/SiO2/Si multilayer structure

Beteiligte:

Latt, K. M. (Autor:in) / Park, H. S. (Autor:in) / Seng, H. L. (Autor:in) / Osipowicz, T. (Autor:in) / Lee, Y. K. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE ; 37 ; 4181 - 4188

Erscheinungsdatum:

01.01.2002

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0022-2461

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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