Growth, coalescence, and electrical resistivity of thin Pt films grown by dc magnetron sputtering on SiO2: Fid-Bau Portal

Growth, coalescence, and electrical resistivity of thin Pt films grown by dc magnetron sputtering on SiO2

Agustsson, J. S. / Arnalds, U. B. / Ingason, A. S. / Gylfason, K. B. / Johnsen, K. / Olafsson, S. / Gudmundsson, J. T.

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Titel:

Growth, coalescence, and electrical resistivity of thin Pt films grown by dc magnetron sputtering on SiO2

Beteiligte:

Agustsson, J. S. (Autor:in) / Arnalds, U. B. (Autor:in) / Ingason, A. S. (Autor:in) / Gylfason, K. B. (Autor:in) / Johnsen, K. (Autor:in) / Olafsson, S. (Autor:in) / Gudmundsson, J. T. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 254 ; 7356-7360

Erscheinungsdatum:

01.01.2008

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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