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    Titel:

    Laser-Anneal of Metal-Based Micro Optical Scanner Derived by Aerosol Deposition

    Beteiligte:

    Baba, S. (Autor:in) / Park, J.H. (Autor:in) / Sato, H. (Autor:in) / Nakano, S. (Autor:in) / Ashida, K. (Autor:in) / Akedo, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    KEY ENGINEERING MATERIALS ; 388 ; 195-200

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2009

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    1013-9826

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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