Low-temperature deposition of transparent conducting ZnO:Zr films on PET substrates by DC magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Low-temperature deposition of transparent conducting ZnO:Zr films on PET substrates by DC magnetron sputtering

Zhang, H. / Lei, C. / Liu, H. / Yuan, C.

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Titel:

Low-temperature deposition of transparent conducting ZnO:Zr films on PET substrates by DC magnetron sputtering

Beteiligte:

Zhang, H. (Autor:in) / Lei, C. (Autor:in) / Liu, H. (Autor:in) / Yuan, C. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 6054-6056

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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