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Laser annealing of amorphous carbon films

Cappelli, E. / Scilletta, C. / Orlando, S. / Valentini, V. / Servidori, M.

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Titel:

Laser annealing of amorphous carbon films

Beteiligte:

Cappelli, E. (Autor:in) / Scilletta, C. (Autor:in) / Orlando, S. (Autor:in) / Valentini, V. (Autor:in) / Servidori, M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 5620-5625

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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