Annealing effects on the microstructure of amorphous carbon nitride films: Fid-Bau Portal

Annealing effects on the microstructure of amorphous carbon nitride films

Wang, X. C. / Li, Z. Q. / Wu, P. / Jiang, E. Y. / Bai, H. L.

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Titel:

Annealing effects on the microstructure of amorphous carbon nitride films

Beteiligte:

Wang, X. C. (Autor:in) / Li, Z. Q. (Autor:in) / Wu, P. (Autor:in) / Jiang, E. Y. (Autor:in) / Bai, H. L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 253 ; 2087-2092

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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