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Research of a Novel MEMS Vector Hydrophone Based on a New Package Process

Zhang, K.R. / Li, Q.Z. / Liu, G.W. / Shi, X.J.

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Titel:

Research of a Novel MEMS Vector Hydrophone Based on a New Package Process

Beteiligte:

Zhang, K.R. (Autor:in) / Li, Q.Z. (Autor:in) / Liu, G.W. (Autor:in) / Shi, X.J. (Autor:in) / Gu, Z. / Han, Y. / Pan, F. / Wang, X. / Weng, D. / Zhou, S.

Erschienen in:

Eco/environmental materials, energy materials, magnesium, aerospace materials and biomaterials for medical application ; 567-572

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 610/613

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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