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Design of MEMS Piezoelectric Vector Hydrophone

Lu, N. / Li, J.H. / Liu, M.W. / Wang, C.H.

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Titel:

Design of MEMS Piezoelectric Vector Hydrophone

Beteiligte:

Lu, N. (Autor:in) / Li, J.H. (Autor:in) / Liu, M.W. (Autor:in) / Wang, C.H. (Autor:in) / Tang, F.

Erschienen in:

Micro-Nano Technology XIV ; 1143-1148

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 562/565

Erscheinungsdatum:

01.01.2013

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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