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Hydrogenation of platinum introduced in silicon by radiation enhanced diffusion

Hazdra, P. / Komarnitskyy, V. / Bursikova, V.

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Titel:

Hydrogenation of platinum introduced in silicon by radiation enhanced diffusion

Beteiligte:

Hazdra, P. (Autor:in) / Komarnitskyy, V. (Autor:in) / Bursikova, V. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE AND ENGINEERING B ADVANCED FUNCTIONAL SOLID STATE MATERIALS ; 159-160 ; 342-345

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0921-5107

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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