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Inverted Pyramid Defects in 4H-SiC Epilayers

Shrivastava, A. / Muzykov, P.G. / Sudarshan, T.S.

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Titel:

Inverted Pyramid Defects in 4H-SiC Epilayers

Beteiligte:

Shrivastava, A. (Autor:in) / Muzykov, P.G. (Autor:in) / Sudarshan, T.S. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 615/617 ; 125-128

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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