Spatial Profiling of Planar Defects in 4H-SiC Epilayers Using Micro-Photoluminescence Mapping: Fid-Bau Portal

Spatial Profiling of Planar Defects in 4H-SiC Epilayers Using Micro-Photoluminescence Mapping

Feng, G. / Suda, J. / Kimoto, T.

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Titel:

Spatial Profiling of Planar Defects in 4H-SiC Epilayers Using Micro-Photoluminescence Mapping

Beteiligte:

Feng, G. (Autor:in) / Suda, J. (Autor:in) / Kimoto, T. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 615/617 ; 245-250

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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