Growth and Microstructure of Epitaxial Ti~3SiC~2 Contact Layers on SiC: Fid-Bau Portal

Growth and Microstructure of Epitaxial Ti~3SiC~2 Contact Layers on SiC

Tsukimoto, S. / Ito, K. / Wang, Z. / Saito, M. / Ikuhara, Y. / Murakami, M.

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Titel:

Growth and Microstructure of Epitaxial Ti~3SiC~2 Contact Layers on SiC

Beteiligte:

Tsukimoto, S. (Autor:in) / Ito, K. (Autor:in) / Wang, Z. (Autor:in) / Saito, M. (Autor:in) / Ikuhara, Y. (Autor:in) / Murakami, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS TRANSACTIONS ; 50 ; 1071-1075

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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