Effects of substrate temperature and Zn addition on the properties of Al-doped ZnO films prepared by magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Effects of substrate temperature and Zn addition on the properties of Al-doped ZnO films prepared by magnetron sputtering

Kim, Y. H. / Lee, K. S. / Lee, T. S. / Cheong, B. / Seong, T. Y. / Kim, W. M.

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Titel:

Effects of substrate temperature and Zn addition on the properties of Al-doped ZnO films prepared by magnetron sputtering

Beteiligte:

Kim, Y. H. (Autor:in) / Lee, K. S. (Autor:in) / Lee, T. S. (Autor:in) / Cheong, B. (Autor:in) / Seong, T. Y. (Autor:in) / Kim, W. M. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 7251-7256

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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