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    Titel:

    Environmentally Benign Material Removal Processes for the Fabrication of Microdevices

    Beteiligte:

    Danyluk, S. (Autor:in) / Blackburn, T. (Autor:in) / Butler, D. (Autor:in) / Seng, L.C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 620/622 ; 451-456

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2009

    Format / Umfang:

    6 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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