Microstructure, optical and electrical properties of nitrogen doped sp^2-rich a-C thin films grown by facing-target magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Microstructure, optical and electrical properties of nitrogen doped sp^2-rich a-C thin films grown by facing-target magnetron sputtering

Wu, J. Q. / Wang, X. C. / Jiang, E. Y. / Bai, H. L.

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Titel:

Microstructure, optical and electrical properties of nitrogen doped sp^2-rich a-C thin films grown by facing-target magnetron sputtering

Beteiligte:

Wu, J. Q. (Autor:in) / Wang, X. C. (Autor:in) / Jiang, E. Y. (Autor:in) / Bai, H. L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 9498-9503

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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