Elastic modulus of low-k dielectric thin films measured by load-dependent contact-resonance atomic force microscopy: Fid-Bau Portal

Elastic modulus of low-k dielectric thin films measured by load-dependent contact-resonance atomic force microscopy

Stan, G. / King, S.W. / Cook, R.F.

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Titel:

Elastic modulus of low-k dielectric thin films measured by load-dependent contact-resonance atomic force microscopy

Beteiligte:

Stan, G. (Autor:in) / King, S.W. (Autor:in) / Cook, R.F. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 24 ; 2960-2964

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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