Titanium and aluminum nitride synthesis via layer by layer LA-CVD: Fid-Bau Portal

Titanium and aluminum nitride synthesis via layer by layer LA-CVD

Shishkovsky, I. / Morozov, Y. / Yadroitsev, I. / Smurov, I.

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Titel:

Titanium and aluminum nitride synthesis via layer by layer LA-CVD

Beteiligte:

Shishkovsky, I. (Autor:in) / Morozov, Y. (Autor:in) / Yadroitsev, I. (Autor:in) / Smurov, I. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 255 ; 9847-9850

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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