Effect of Sample Configuration on Droplet-Particles of TiN Films Deposited by Pulse Biased Arc Ion Plating: Fid-Bau Portal

Effect of Sample Configuration on Droplet-Particles of TiN Films Deposited by Pulse Biased Arc Ion Plating

Zhao, Y. / Lin, G. / Xiao, J. / Dong, C. / Wen, L.

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Titel:

Effect of Sample Configuration on Droplet-Particles of TiN Films Deposited by Pulse Biased Arc Ion Plating

Beteiligte:

Zhao, Y. (Autor:in) / Lin, G. (Autor:in) / Xiao, J. (Autor:in) / Dong, C. (Autor:in) / Wen, L. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS SCIENCE AND TECHNOLOGY -SHENYANG- ; 25 ; 681-686

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1005-0302

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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