Ti/TiN multilayer thin films deposited by pulse biased arc ion plating: Fid-Bau Portal

Ti/TiN multilayer thin films deposited by pulse biased arc ion plating

Zhao, Y. / Lin, G. / Xiao, J. / Du, H. / Dong, C. / Gao, L.

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Titel:

Ti/TiN multilayer thin films deposited by pulse biased arc ion plating

Beteiligte:

Zhao, Y. (Autor:in) / Lin, G. (Autor:in) / Xiao, J. (Autor:in) / Du, H. (Autor:in) / Dong, C. (Autor:in) / Gao, L. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 2683-2688

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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