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Identification of SiC polytypes by etched Si-face morphology

Yang, Y. / Chen, Z.

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Titel:

Identification of SiC polytypes by etched Si-face morphology

Beteiligte:

Yang, Y. (Autor:in) / Chen, Z. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 12 ; 113-117

Erscheinungsdatum:

01.01.2009

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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