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Assessment of adhesion between thin film and silicon based on a scratch test

Lee, J. E. / Kim, H. J. / Kim, D. E.

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Titel:

Assessment of adhesion between thin film and silicon based on a scratch test

Beteiligte:

Lee, J. E. (Autor:in) / Kim, H. J. (Autor:in) / Kim, D. E. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MECHANICAL SCIENCE AND TECHNOLOGY ; 24 ; 97-101

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

1738-494X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621

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