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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Capability Testing Based on Subsamples: A Case on Photolithography Process Control in Wafer Fabrication

    Beteiligte:

    Liao, M.-Y. (Autor:in) / Kang, H.-Y. (Autor:in) / Lee, A.H.I. (Autor:in) / Wu, C.-W. (Autor:in)

    Erschienen in:

    JOURNAL OF TESTING AND EVALUATION ; 38 ; 222-231

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    10 pages

    ISSN:

    0090-3973

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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