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    Titel:

    Einfluss der PVD-Prozessparameter auf die Schichtnukleation und Struktur von CrN-Schichten

    Beteiligte:

    Slomski, E. M. (Autor:in) / Scheerer, H. (Autor:in) / Tromann, T. (Autor:in) / Berger, C. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK ; 41 ; 161-165

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    5 pages

    ISSN:

    0933-5137

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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