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    Title:

    Einfluss der PVD-Prozessparameter auf die Schichtnukleation und Struktur von CrN-Schichten

    Contributors:

    Slomski, E. M. (author) / Scheerer, H. (author) / Tromann, T. (author) / Berger, C. (author)

    Published in:

    MATERIALWISSENSCHAFT UND WERKSTOFFTECHNIK ; 41 ; 161-165

    Publication date:

    2010-01-01

    Size:

    5 pages

    ISSN:

    0933-5137

    Type of media:

    Article (Journal)

    Type of material:

    Print

    Language:

    English

    Classification:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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