Stress gradients observed in Cu thin films induced by capping layers: Fid-Bau Portal

Stress gradients observed in Cu thin films induced by capping layers

Murray, C.E. / Besser, P.R. / Witt, C. / Jordan-Sweet, J.L.

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Titel:

Stress gradients observed in Cu thin films induced by capping layers

Beteiligte:

Murray, C.E. (Autor:in) / Besser, P.R. (Autor:in) / Witt, C. (Autor:in) / Jordan-Sweet, J.L. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 25 ; 622-628

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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