Simulation of Gas Flow Field in HFCVD System for CVD Diamond Growth: Fid-Bau Portal

Simulation of Gas Flow Field in HFCVD System for CVD Diamond Growth

Lin, H.Q. / Lu, W.Z. / Zuo, D.W. / Yang, C. / Xu, F.

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Titel:

Simulation of Gas Flow Field in HFCVD System for CVD Diamond Growth

Beteiligte:

Lin, H.Q. (Autor:in) / Lu, W.Z. (Autor:in) / Zuo, D.W. (Autor:in) / Yang, C. (Autor:in) / Xu, F. (Autor:in) / Yao, Y. / Zuo, D. / Xu, X.

Erschienen in:

Machining and Advanced Manufacturing Technology X ; 21-24

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 431/432

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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