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    Dokumentinformationen
    Titel:

    Reliability of Thin Thermally Grown SiO~2 on 3C-SiC Studied by Scanning Probe Microscopy

    Beteiligte:

    Eriksson, J. (Autor:in) / Weng, M.H. (Autor:in) / Roccaforte, F. (Autor:in) / Giannazzo, F. (Autor:in) / Fiorenza, P. (Autor:in) / Lorenzzi, J. (Autor:in) / Ferro, G. (Autor:in) / Raineri, V. (Autor:in) / Bauer, A.J. / Friedrichs, P.

    Erschienen in:

    Silicon Carbide and Related Materials 2009 ; 833-836

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 645/648

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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