Mechanical behavior of laser micro-machined bulk 6H-SiC diaphragms: Fid-Bau Portal

Mechanical behavior of laser micro-machined bulk 6H-SiC diaphragms

Simsek, E. / Buehler, M. / Pecholt, B. / Molian, P.

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Titel:

Mechanical behavior of laser micro-machined bulk 6H-SiC diaphragms

Beteiligte:

Simsek, E. (Autor:in) / Buehler, M. (Autor:in) / Pecholt, B. (Autor:in) / Molian, P. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS AND DESIGN -REIGATE- ; 31 ; 3605-3609

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0264-1275

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.0042

Simsek, Emrah / Buehler, Michelle / Pecholt, Ben et al. | Elsevier | 2010

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