Influence of aluminum concentration and substrate temperature on the physical characteristics of chemically sprayed ZnO: Al thin solid films deposited from zinc pentanedionate and aluminum pentanedionate: Fid-Bau Portal

Influence of aluminum concentration and substrate temperature on the physical characteristics of chemically sprayed ZnO: Al thin solid films deposited from zinc pentanedionate and aluminum pentanedionate

Casta&#x000F1 / eda, L. / Silva-Gonz&#x000E1 / lez, R. / Gracia-Jim&#x000E9 / nez, J. M. / Hern&#x000E1 / ndez-Torres, M. E. / Avenda&#x000F1 / o-Alejo, M. / ... [mehr]

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Casta&#x000F1 (Autor:in) / eda, L. (Autor:in) / Silva-Gonz&#x000E1 (Autor:in) / lez, R. (Autor:in) / Gracia-Jim&#x000E9 (Autor:in) / nez, J. M. (Autor:in) / Hern&#x000E1 (Autor:in) / ndez-Torres, M. E. (Autor:in) / Avenda&#x000F1 (Autor:in) / o-Alejo, M. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING ; 13 ; 80-85

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1369-8001

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.38152

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