Effect of Nitridation on GaN Film Grown on Glass Substrate by ECR-PEMOCVD Method: Fid-Bau Portal

Effect of Nitridation on GaN Film Grown on Glass Substrate by ECR-PEMOCVD Method

Qin, F.W. / Wu, A.M. / Liu, F.C. / Liu, B.D. / Jiang, X.

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Titel:

Effect of Nitridation on GaN Film Grown on Glass Substrate by ECR-PEMOCVD Method

Beteiligte:

Qin, F.W. (Autor:in) / Wu, A.M. (Autor:in) / Liu, F.C. (Autor:in) / Liu, B.D. (Autor:in) / Jiang, X. (Autor:in) / Nie, J.-F. / Morton, A.

Erschienen in:

PRICM7 PART 2 ; 1716-1719

MATERIALS SCIENCE FORUM ; 654/656

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

4 pages

ISSN:

0255-5476

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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