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    Titel:

    Technological Parameters and Electrical Properties of Ti/TiN Multilayer Films Prepared by Magnetron Sputtering

    Beteiligte:

    Hu, M. (Autor:in) / Liu, Y. (Autor:in) / Lai, Z.Q. (Autor:in) / Nie, J.-F. / Morton, A.

    Erschienen in:

    PRICM7 PART 2 ; 1752-1755

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 654/656

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2010

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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