Carbon nitride based hard multilayer films prepared by closed field unbalanced magnetron sputtering: Fid-Bau Portal

Carbon nitride based hard multilayer films prepared by closed field unbalanced magnetron sputtering

Vyas, A. / Li, L. K. Y. / Zhou, Z. F. / Shen, Y. G.

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Titel:

Carbon nitride based hard multilayer films prepared by closed field unbalanced magnetron sputtering

Beteiligte:

Vyas, A. (Autor:in) / Li, L. K. Y. (Autor:in) / Zhou, Z. F. (Autor:in) / Shen, Y. G. (Autor:in)

Erschienen in:

SURFACE ENGINEERING -LONDON- ; 22 ; 15-25

Erscheinungsdatum:

01.01.2006

Format / Umfang:

11 pages

ISSN:

0267-0844

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.44

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