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    Titel:

    Metal Assisted Chemical Etching of Silicon: A Review

    Beteiligte:

    Huang, Z. (Autor:in) / Geyer, N. (Autor:in) / Werner, P. (Autor:in) / de Boor, J. (Autor:in) / G sele, U. (Autor:in)

    Erschienen in:

    ADVANCED MATERIALS -DEERFIELD BEACH THEN WEINHEIM- ; 23 ; 285-308

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2011

    Format / Umfang:

    24 pages

    ISSN:

    0935-9648

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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