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Imprint-Mold-Cleaning by Vacuum Ultraviolet Light

Nakao, M. / Yamaguchi, M. / Yabu, S.

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Titel:

Imprint-Mold-Cleaning by Vacuum Ultraviolet Light

Beteiligte:

Nakao, M. (Autor:in) / Yamaguchi, M. (Autor:in) / Yabu, S. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF NONLINEAR OPTICAL PHYSICS AND MATERIALS ; 19 ; 773-780

Erscheinungsdatum:

01.01.2010

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 540

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