Time-resolved Langmuir probe measurements in preionised HiPIMS discharge: Fid-Bau Portal

Time-resolved Langmuir probe measurements in preionised HiPIMS discharge

Poolcharuansin, P. / Bradley, J.W. / Kelly, P.J.

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Titel:

Time-resolved Langmuir probe measurements in preionised HiPIMS discharge

Beteiligte:

Poolcharuansin, P. (Autor:in) / Bradley, J.W. (Autor:in) / Kelly, P.J. (Autor:in)

Erschienen in:

Reactive Sputter Deposition ; 25-27

MATERIALS TECHNOLOGY ; 26

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

1066-7857

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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