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Cost-effective SU-8 micro-structures by DUV excimer laser lithography for label-free biosensing

Sanza, F. J. / Laguna, M. F. / Casquel, R. / Holgado, M. / Barrios, C. A. / Ortega, F. J. / Lopez-Romero, D. / Garcia-Ballesteros, J. J. / Banuls, M. J. / Maquieira, A.

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Titel:

Cost-effective SU-8 micro-structures by DUV excimer laser lithography for label-free biosensing

Beteiligte:

Sanza, F. J. (Autor:in) / Laguna, M. F. (Autor:in) / Casquel, R. (Autor:in) / Holgado, M. (Autor:in) / Barrios, C. A. (Autor:in) / Ortega, F. J. (Autor:in) / Lopez-Romero, D. (Autor:in) / Garcia-Ballesteros, J. J. (Autor:in) / Banuls, M. J. (Autor:in) / Maquieira, A. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 5403-5407

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Print

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

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