Synthesis and characterization of porous crystalline SiC thin films prepared by radio frequency reactive magnetron sputtering technique: Fid-Bau Portal

Synthesis and characterization of porous crystalline SiC thin films prepared by radio frequency reactive magnetron sputtering technique

Qamar, A. / Mahmood, A. / Sarwar, T. / Ahmed, N.

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Titel:

Synthesis and characterization of porous crystalline SiC thin films prepared by radio frequency reactive magnetron sputtering technique

Beteiligte:

Qamar, A. (Autor:in) / Mahmood, A. (Autor:in) / Sarwar, T. (Autor:in) / Ahmed, N. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 6923-6927

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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