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Focused electron beam-induced deposition at cryogenic temperatures

Bresin, M. / Thiel, B.L. / Toth, M. / Dunn, K.A.

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Titel:

Focused electron beam-induced deposition at cryogenic temperatures

Beteiligte:

Bresin, M. (Autor:in) / Thiel, B.L. (Autor:in) / Toth, M. (Autor:in) / Dunn, K.A. (Autor:in)

Erschienen in:

JOURNAL OF MATERIALS RESEARCH -PITTSBURGH THEN WARRENDALE- ; 26 ; 357-364

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

0884-2914

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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