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    Titel:

    Dynamic behavior of a new surface-micromachined piezoelectric material actuated micro-mirror device

    Beteiligte:

    Matin, M. A. (Autor:in) / Akai, D. (Autor:in) / Ozaki, K. (Autor:in) / Kawazu, N. (Autor:in) / Hanebuchi, M. (Autor:in) / Sawada, K. (Autor:in) / Ishida, M. (Autor:in)

    Erschienen in:

    COMPUTATIONAL MATERIALS SCIENCE ; 50 ; 2311-2318

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2011

    Format / Umfang:

    8 pages

    ISSN:

    0927-0256

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.1 / 510

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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