Polycrystalline TiO~2 Thin Films with Different Thicknesses Deposited on Unheated Substrates Using RF Magnetron Sputtering: Fid-Bau Portal

Polycrystalline TiO~2 Thin Films with Different Thicknesses Deposited on Unheated Substrates Using RF Magnetron Sputtering

Wei, C.-H. / Chang, C.-M.

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Titel:

Polycrystalline TiO~2 Thin Films with Different Thicknesses Deposited on Unheated Substrates Using RF Magnetron Sputtering

Beteiligte:

Wei, C.-H. (Autor:in) / Chang, C.-M. (Autor:in)

Erschienen in:

New Trends for Micro- and Nano Analyses ; 554-559

MATERIALS TRANSACTIONS ; 52

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

1345-9678

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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