Influence of annealing temperature on the structural, optical and mechanical properties of ALD-derived ZnO thin films: Fid-Bau Portal

Influence of annealing temperature on the structural, optical and mechanical properties of ALD-derived ZnO thin films

Yen, C. Y. / Jian, S. R. / Chen, G. J. / Lin, C. M. / Lee, H. Y. / Ke, W. C. / Liao, Y. Y. / Yang, P. F. / Wang, C. T. / Lai, Y. S.

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Yen, C. Y. / Jian, S. R. / Chen, G. J. / Lin, C. M. / Lee, H. Y. / Ke, W. C. / Liao, Y. Y. / Yang, P. F. / Wang, C. T. / Lai, Y. S.

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Yen, C. Y. / Jian, S. R. / Chen, G. J. / Lin, C. M. / Lee, H. Y. / Ke, W. C. / Liao, Y. Y. / Yang, P. F. / Wang, C. T. / Lai, Y. S.

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Titel:

Influence of annealing temperature on the structural, optical and mechanical properties of ALD-derived ZnO thin films

Beteiligte:

Yen, C. Y. (Autor:in) / Jian, S. R. (Autor:in) / Chen, G. J. (Autor:in) / Lin, C. M. (Autor:in) / Lee, H. Y. (Autor:in) / Ke, W. C. (Autor:in) / Liao, Y. Y. (Autor:in) / Yang, P. F. (Autor:in) / Wang, C. T. (Autor:in) / Lai, Y. S. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 7900-7905

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

6 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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