Surface-Texturing of Single-Crystalline Silicon Wafers: Fid-Bau Portal

Surface-Texturing of Single-Crystalline Silicon Wafers

Lin, J.Y. / Chang, P.Y. / Hu, C.K. / Wu, B.H.

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Titel:

Surface-Texturing of Single-Crystalline Silicon Wafers

Beteiligte:

Lin, J.Y. (Autor:in) / Chang, P.Y. (Autor:in) / Hu, C.K. (Autor:in) / Wu, B.H. (Autor:in) / Chen, C.-Y. / Chang, J.-T.

Erschienen in:

Engineering Materials V ; 124-131

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 479

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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