Multiform structures with silicon nanopillars by cesium chloride self-assembly and dry etching: Fid-Bau Portal

Multiform structures with silicon nanopillars by cesium chloride self-assembly and dry etching

Liao, Y. x. / Liu, J. / Wang, B. / Yi, F. t.

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Titel:

Multiform structures with silicon nanopillars by cesium chloride self-assembly and dry etching

Beteiligte:

Liao, Y. x. (Autor:in) / Liu, J. (Autor:in) / Wang, B. (Autor:in) / Yi, F. t. (Autor:in)

Erschienen in:

APPLIED SURFACE SCIENCE ; 257 ; 10489-10493

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

5 pages

ISSN:

0169-4332

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 621.35

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