Fabrication of Nano-Aperture Hollow Tip Array for Microplasma Etching: Fid-Bau Portal

Fabrication of Nano-Aperture Hollow Tip Array for Microplasma Etching

Xiang, W.W. / Wen, L. / Zhang, Q.P. / Chu, J.R.

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Titel:

Fabrication of Nano-Aperture Hollow Tip Array for Microplasma Etching

Beteiligte:

Xiang, W.W. (Autor:in) / Wen, L. (Autor:in) / Zhang, Q.P. (Autor:in) / Chu, J.R. (Autor:in)

Erschienen in:

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 483 ; 89-96

Erscheinungsdatum:

01.01.2011

Format / Umfang:

8 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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