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    Titel:

    Surface modification and fabrication of 3D nanostructures by atomic layer deposition

    Beteiligte:

    Bae, C. (Autor:in) / Shin, H. (Autor:in) / Nielsch, K. (Autor:in)

    Erschienen in:

    MRS BULLETIN- MATERIALS RESEARCH SOCIETY ; 36 ; 887-898

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2011

    Format / Umfang:

    12 pages

    ISSN:

    0883-7694

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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