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    Titel:

    Room temperature oxidation of magnetron sputtered Si-C-N films

    Beteiligte:

    Huger, E. (Autor:in) / Gao, D. (Autor:in) / Markwitz, A. (Autor:in) / Geckle, U. (Autor:in) / Bruns, M. (Autor:in) / Schmidt, H. (Autor:in)

    Erschienen in:

    APPLIED SURFACE SCIENCE ; 258 ; 2944-2947

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0169-4332

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  621.35

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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