Self-assembled SiGe nanoparticles integrated into SOI: Fid-Bau Portal

Self-assembled SiGe nanoparticles integrated into SOI

Xu, W. / Tu, H. / Liu, D. / Xiao, Q. / Chang, Q.

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Titel:

Self-assembled SiGe nanoparticles integrated into SOI

Beteiligte:

Xu, W. (Autor:in) / Tu, H. (Autor:in) / Liu, D. (Autor:in) / Xiao, Q. (Autor:in) / Chang, Q. (Autor:in)

Erschienen in:

MATERIALS LETTERS ; 72 ; 39-41

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

3 pages

ISSN:

0167-577X

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.1105 / 530

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