Status and Trends of Fixed Abrasive Polishing on Semiconductor: Fid-Bau Portal

Status and Trends of Fixed Abrasive Polishing on Semiconductor

Zhao, Y. / Zuo, D.W. / Sun, Y.L.

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Titel:

Status and Trends of Fixed Abrasive Polishing on Semiconductor

Beteiligte:

Zhao, Y. (Autor:in) / Zuo, D.W. (Autor:in) / Sun, Y.L. (Autor:in) / Zuo, D. / Huang, C. / Chen, M. / Li, J. / Hun, G.

Erschienen in:

Anti-Fatigue Design and Manufacturing Technologies I ; 390-396

KEY ENGINEERING MATERIALS ; 499

Erscheinungsdatum:

01.01.2012

Format / Umfang:

7 pages

ISSN:

1013-9826

Medientyp:

Aufsatz (Zeitschrift)

Format:

Sprache:

Englisch

Klassifikation:

DDC: 620.11

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