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    Dokumentinformationen
    Titel:

    High Frequency 3C-SiC AFM Cantilever Using Thermal Actuation and Metallic Piezoresistive Detection

    Beteiligte:

    Boubekri, R. (Autor:in) / Cambril, E. (Autor:in) / Couraud, L. (Autor:in) / Bernardi, L. (Autor:in) / Madouri, A. (Autor:in) / Martrou, D. (Autor:in) / Gauthier, S. (Autor:in) / Alquier, D.

    Erschienen in:

    HeteroSiC & WASMPE 2011 ; 80-83

    MATERIALS SCIENCE FORUM ; 711

    Erscheinungsdatum:

    01.01.2012

    Format / Umfang:

    4 pages

    ISSN:

    0255-5476

    Medientyp:

    Aufsatz (Zeitschrift)

    Format:

    Print

    Sprache:

    Englisch

    Klassifikation:

    DDC:  620.11

    © Metadata Copyright the British Library Board and other contributors. All rights reserved.

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